Fluidtechnik-Lexikon
Hier finden Sie alles rund um die Thematik Fluidtechnik in insgesamt 2500 Stichworten, 983 Abbildungen und Formeln und über 6000 Querverweisen zusammengefasst. Das O+P-Fluidlexikon konnte Dank einer Kooperationsvereinbarung mit den Vereinigten Fachverlagen exklusiv integriert werden.
Dünnfilmtechnik [thin-film technology]
Allgemein [general]:
Aufdampfen einer metallischen Schicht von meist erheblich unter 1 μm Dicke auf einem Grundkörper.
In der Meßtechnik [in the measuring technology]:
wird die D. eingesetzt zur Herstellung von Dünnfilm-DMS. Hier ist die Schicht mit einigen Hundert Angström so dünn und so hochohmig, daß man alle vier für eine Wheatstone’sche Brücke erforderlichen DMS auf einer sehr kleinen Fläche unterbringen kann.
Die Herstellung der Dünnschicht geschieht entweder durch Aufdampfen im Hochvakuum oder durch Kathodenzerstäubung (Sputtern) unter Gasdruck (meist Argon) (Bild D 86).
- Abbildung D 86: Herstellen einer Dünnfilmschicht